핵심 판정
transport complete·E84 signal normal만 보지 않고 carrier identity·position·handoff sequence·mechanical state·host/MES state를 대조.
문제 증상과 관찰 가능한 이상
- OHT/stocker complete인데 실제 FOUP 위치·load port clamp·carrier ID가 다르다.
- E84 signal sequence는 종료했지만 mechanical handoff·presence·door/FIMS 상태가 불명하다.
- manual recovery 후 host/MES/stocker inventory에 duplicate·lost carrier가 남는다.
- interlock bypass·teach mode·manual jog의 expiry와 복구시험이 없다.
사용 경계와 한계
이 문서는 현장 자격·작업허가·LOTO·무전압 확인·법정검사·관할 승인·화학물질·가스·소방·cleanroom·OEM·책임 기술자의 판정을 대신하지 않습니다.
공개 표준의 범위와 공개 abstract를 기록 구조에 사용합니다. 구매가 필요한 표준의 세부 요구·수치·pass/fail은 정식 문서·계약·site specification으로 확인하며, 확인되지 않은 사고율·비용·효과·보편 합격수치를 만들지 않습니다.
작업 전 사전 수집 데이터와 asset/event identity
- OHT/vehicle/rail/station/stocker/load port identity·software/recipe/map revision
- FOUP/carrier ID·wafer lot·source/destination·custody owner·actual position
- E84 signal raw trace·sequence/timing/error/recovery·sensor state
- E88/host/MES inventory·transfer command·state model·time quality
- mechanical clamp/presence/door/lift/hoist·safety zone·manual/teach authority
판단 경계·필수 증거·적용 불가
| 판단 경계 | 식별 대상 | 필수 증거 | 단독 판정 금지 |
|---|---|---|---|
| Carrier identity | FOUP·lot·source/destination | RFID/barcode/host/physical label | screen ID |
| Transport state | OHT vehicle·rail·station | position·motion fault·physical stop | complete bit |
| Handoff E84 | active/passive equipment·load port | signal timeline·sensor·error/recovery | signal idle |
| Inventory/Recovery | stocker/host/MES/custody | state reconciliation·duplicate/lost check | manual move only |
즉시 작업중단·격리·판정 보류 조건
- carrier/lot identity·actual position·custody가 불명하다.
- suspended load·pinch/crush·unexpected motion·door/clamp unsafe state가 있다.
- safety interlock·zone·E84 signal을 force/bypass하고 manual move한다.
- host/MES/stocker inventory reconciliation 없이 production carrier를 release한다.
중단 후 사람·구역·에너지·material/process 상태를 통제하고 raw evidence를 보존합니다. 승인범위를 넘는 조사·조작은 재승인 후 수행합니다.
4단계 판단 Gate
Gate 0사람·motion·carrier 통제
Gate 1physical/E84 state 일치
Gate 2host/MES inventory reconcile
Gate 3carrier·lot 단계 release 승인
현장 기록표
| 사건 ID·시각 | Fab·Bay·자산 | 관찰 사실 | 전기·기계 | Facility service | Process·Lot | 원본·Time quality | 격리·허가 | 판정·시험 | 승인·As-left |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
판정등급·제한시험·단계복구·Rollback
| 판정 | 성립 조건 | 허용 조치 | 금지·Rollback 조건 |
|---|---|---|---|
| 즉시중단·접근금지 | 위험징후·상태 불명·권한 미성립 | 구역통제·격리·원본보존 | 원격표시로 해제 금지 |
| 판정 보류 | Identity·원본·조건·Time quality 누락 | 자료확보·범위 재승인 | Reset/Bypass/Lot release 금지 |
| 제한시험 | 위험통제·시험·중단·Rollback 승인 | 한 변수·Dummy/Test material | Production lot 무승인 시험 금지 |
| 복구후보 | 결함조치·기능시험·인계·전문승인 | 단계복구·관찰 | READY/Online만으로 완료 금지 |
8단계 측정·판단·증거 시간정렬
- area/vehicle/carrier safe stop
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - event/E84/host raw trace 동결
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - physical position·sensor·clamp walkdown
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - E84 sequence·timing·error 대조
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - manual recovery plan/authority
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - empty/dummy carrier 제한시험
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - inventory/lot reconciliation
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - as-left map·carrier custody 인계
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다.
설명용 시각자료
인계자료와 As-left 결과물
- OHT/stocker/load port/vehicle/map/software identity
- carrier/FOUP/wafer lot/source/destination custody record
- E84 raw trace·sensor/mechanical·event/time quality
- manual move/bypass/change·test carrier·rollback
- host/MES inventory reconciliation·lost/duplicate·미결함
- 원인가설별 시험결과·배제 근거·적용조건
- 변경·교체·청소·제염·조정 이전/최종값·version·hash
- 정상·비정상·utility loss·재기동·rollback 원본
- 미결함·temporary state·lot hold/release·다음 점검·승인자
전문 검토 포인트
AMHS mechanical/motion
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
E84/equipment automation
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
MES/host/data integrity
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
tool load port/OEM
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
safety/EHS·production quality
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
공식 1차 자료 상태
- SEMI E84 — Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface웹에서 공식 페이지 접근·SEMI E84-0823 — Current 확인 · 사용: 생산장비와 AMHS 사이 carrier handoff signal·sequence·error detection·recovery · 한계: handoff interface 범위이며 host scheduling·장비 내부 동작·기계 안전·carrier 품질을 대신하지 않음
- SEMI E88 — Specification for AMHS Storage SEM (Stocker SEM)웹에서 공식 페이지 접근·SEMI E88-0307 (Reapproved 0523) — Current 확인 · 사용: Host 관점의 stocker operational model·state·data report·transfer command · 한계: 장비 내부 기계동작·안전회로·스케줄링 전체를 규정하지 않음
- SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment웹에서 공식 페이지 접근·SEMI S2-0724E — Current 확인 · 사용: 반도체 제조·계측·조립·시험 장비의 성능기반 EHS 고려사항과 장비별 적용범위 · 한계: SEMI 가이드가 모든 안전문제를 포괄하지 않으며 국내 법령·사업장 절차·실제 장비 위험성평가가 우선
- SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment웹에서 공식 페이지 접근·SEMI S22-0718E — Current 확인 · 사용: 반도체 제조장비의 전기설계·감전·화재 위험과 전기/비전기 interlock 검토범위 · 한계: 설계 가이드이며 현장 배선·보호정정·법정검사·제품 인증을 대신하지 않음
확인일: 2026-07-23. `OFFICIAL_SOURCE_STATUS_1332_1341.md`와 URL 상태 JSON에서 접근 확인과 수동 확인 필요를 분리합니다. 공개 abstract는 현장 합격값·법적 승인·OEM 절차를 대신하지 않습니다.