핵심 판정
chiller RUN이나 공급온도 한 값 대신 tool별 PCW branch·flow/pressure/temperature·heat load·leak·interlock·process result를 검증.
문제 증상과 관찰 가능한 이상
- chiller RUN·header temperature 정상인데 특정 tool branch flow가 부족하다.
- supply/return tag·valve position·pressure drop·heat load가 tool event와 연결되지 않는다.
- leak detector/bypass/auto isolation이 실제 valve·tool safe state까지 이어지지 않는다.
- 복구 후 condensation·water quality·air purge·thermal stabilization 없이 process를 재개한다.
사용 경계와 한계
이 문서는 현장 자격·작업허가·LOTO·무전압 확인·법정검사·관할 승인·화학물질·가스·소방·cleanroom·OEM·책임 기술자의 판정을 대신하지 않습니다.
공개 표준의 범위와 공개 abstract를 기록 구조에 사용합니다. 구매가 필요한 표준의 세부 요구·수치·pass/fail은 정식 문서·계약·site specification으로 확인하며, 확인되지 않은 사고율·비용·효과·보편 합격수치를 만들지 않습니다.
작업 전 사전 수집 데이터와 asset/event identity
- chiller/pump/header/branch/tool heat exchanger identity·P&ID·design/actual service contract
- supply/return T/P/flow·valve position·filter/strainer·pump VFD·heat load conditions
- water quality/corrosion/contamination control·makeup·drain·flush history
- leak detector·drip tray·automatic isolation·tool alarm/interlock cause/effect
- affected chamber/process/wafer lot·thermal stabilization·OEM restart procedure
판단 경계·필수 증거·적용 불가
| 판단 경계 | 식별 대상 | 필수 증거 | 단독 판정 금지 |
|---|---|---|---|
| Central plant | chiller·pump·header | load·T/P/flow·alarm·power | chiller RUN |
| Tool branch | valve·hose/pipe·HX·flow sensor | branch ΔP/flow·supply/return T·physical state | header value |
| Leak/Quality | detector·drain·water condition | alarm test·inspection·sample/flush record | alarm clear |
| Process result | chamber thermal load·recipe·lot | temperature stabilization·tool trace·hold/release | tool READY |
즉시 작업중단·격리·판정 보류 조건
- visible leak·electrical wetting·pressure loss·burst hose·uncontrolled drain이 있다.
- PCW identity·isolation·stored pressure·electrical proximity를 통제하지 못한다.
- flow/temperature sensor 불신 상태에서 interlock을 bypass한다.
- thermal stabilization·condensation check·lot hold 없이 restart한다.
중단 후 사람·구역·에너지·material/process 상태를 통제하고 raw evidence를 보존합니다. 승인범위를 넘는 조사·조작은 재승인 후 수행합니다.
4단계 판단 Gate
Gate 0누수·압력·에너지 통제
Gate 1central/branch flow evidence 일치
Gate 2leak interlock·tool safe state 통과
Gate 3thermal stabilization·lot 승인
현장 기록표
| 사건 ID·시각 | Fab·Bay·자산 | 관찰 사실 | 전기·기계 | Facility service | Process·Lot | 원본·Time quality | 격리·허가 | 판정·시험 | 승인·As-left |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
판정등급·제한시험·단계복구·Rollback
| 판정 | 성립 조건 | 허용 조치 | 금지·Rollback 조건 |
|---|---|---|---|
| 즉시중단·접근금지 | 위험징후·상태 불명·권한 미성립 | 구역통제·격리·원본보존 | 원격표시로 해제 금지 |
| 판정 보류 | Identity·원본·조건·Time quality 누락 | 자료확보·범위 재승인 | Reset/Bypass/Lot release 금지 |
| 제한시험 | 위험통제·시험·중단·Rollback 승인 | 한 변수·Dummy/Test material | Production lot 무승인 시험 금지 |
| 복구후보 | 결함조치·기능시험·인계·전문승인 | 단계복구·관찰 | READY/Online만으로 완료 금지 |
8단계 측정·판단·증거 시간정렬
- affected loop/tool/lot 격리
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - P&ID·event·trend 원본 동결
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - central→header→branch line walk
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - T/P/flow/ΔP/valve/leak 시간정렬
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - repair/flush/purge 범위 승인
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - 무부하·dummy 제한시험
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - thermal load·process 단계복구
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다. - water quality·as-left 인계
사건 ID·조건·원본·권한·예상결과·중단/rollback을 함께 기록합니다.
설명용 시각자료
인계자료와 As-left 결과물
- P&ID·branch tag·hose/pipe/HX·valve as-built
- T/P/flow/ΔP/heat load raw trend·instrument calibration
- leak detector/isolation/interlock end-to-end result
- repair/flush/purge/water quality/condensation record
- tool/lot hold·thermal stabilization·미결함·승인
- 원인가설별 시험결과·배제 근거·적용조건
- 변경·교체·청소·제염·조정 이전/최종값·version·hash
- 정상·비정상·utility loss·재기동·rollback 원본
- 미결함·temporary state·lot hold/release·다음 점검·승인자
전문 검토 포인트
mechanical/thermal hydraulics
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
electrical wet-location safety
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
tool OEM cooling contract
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
water chemistry/material compatibility
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
process/yield·EHS
정확한 설비·공정·현장 원본과 적용기준을 확인합니다.
공식 1차 자료 상태
- SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment웹에서 공식 페이지 접근·SEMI S2-0724E — Current 확인 · 사용: 반도체 제조·계측·조립·시험 장비의 성능기반 EHS 고려사항과 장비별 적용범위 · 한계: SEMI 가이드가 모든 안전문제를 포괄하지 않으며 국내 법령·사업장 절차·실제 장비 위험성평가가 우선
- SEMI F47 — Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity웹에서 공식 페이지 접근·Current 표기 확인 · 사용: 반도체 공정·계측·자동시험 장비와 직접 영향받는 하위시스템의 전압 sag immunity 조달·시험·보고 범위 · 한계: 특정 sag 깊이·지속시간·pass/fail은 정식 표준·계약·장비 revision에 따라 적용하며 국내 전력품질 적합판정으로 일반화 금지
- SEMI E51 — Typical Facilities Services and Termination Matrix웹에서 공식 페이지 접근·SEMI E51-0200 — Inactive 확인 · 사용: 비활성 역사 참고 후보로서 전형적 facility service·termination matrix의 문서화 개념을 확인하는 범위 · 한계: 현행 기준으로 사용하지 않으며 실제 hookup/POC 판단은 OEM 계약도면, site facility matrix, 현행 적용 표준·국내 기준·책임기술자 검토로 확정해야 함
확인일: 2026-07-23. `OFFICIAL_SOURCE_STATUS_1332_1341.md`와 URL 상태 JSON에서 접근 확인과 수동 확인 필요를 분리합니다. 공개 abstract는 현장 합격값·법적 승인·OEM 절차를 대신하지 않습니다.